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英特尔/美光25纳米工艺晶圆工厂

2010-02-20 13:00来源:未知编辑:冰幻 浏览量:
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    前不久,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺

      

      前不久,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。

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    Intel/美光25nm工艺晶圆厂一日游
    位于雪山脚下的IMFT工厂

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    工厂结构图 优盘之家

      工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。

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    进入工厂的准备工作 U盘之家

      进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)

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    无尘工厂内部

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      晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都搭载了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。

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    厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。

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    FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。 优盘之家

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    Intel/美光25nm工艺晶圆厂一日游 U盘之家

      几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。

    英特尔/美光25纳米工艺晶圆工厂:http://www.upan.cc/info/business/2010/youpan_834.html

     

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